扩散泵系列高真空系统由扩散泵急机械泵、冷井、压差阀、各种挡板阀及管路通过KF卡箍链接而成。在一个给定的空间，当内部气体分子被抽得很稀薄，压强低于一个大气压以下时的状态叫真空。气体的稀薄的程度叫真空度。