机械5

1．气体从钢瓶出来，经过减压阀减压，通过四氟管到供气系统的入口，再经过锚点质子流量计控制气体流量，然后经过混气罐，再进入炉子进气口，气体从出气管出来，经过三通阀门，一端连接真空泵，一端连接出气口。 2．混气罐上接有压力表，压力表显数盘锚点与质子流量计安装在同一面板上。 3．每一条气体管路均有一个高压截止阀，安全有保证。 4．该气路采用高精度气体浮子流量计，气路内部全采用四氟管，耐腐蚀性好。 5．所有接头采用卡套连接，气密性好，耐压高。