电离真空计是通过使气体分子电离，测量离子数量(电流)而得出压强的真空计。其测量真空度在10-8 Pa以上，被广泛应用于高真空至超高真空领域，定量性能优异。热阴极电离真空计中使气体分子电离的电子，是通过加热灯丝来获得的。