软件版本：solidworks2012 文件格式：sldprt 真空泵采用特殊的螺旋式单段压缩设计，可将吸入的粉尘及颗粒排出真空泵，同时具有低转速、低噪音、低振动值及无需长期保养的特性，尤其具有防蚀功能，适合半导体及ｌｃｄ（液晶显示屏）等领域的操作。