机械5

手动阀在真空微系统中的应用 在真空微系统的抽气口通过一ＫＦ卡箍连接有一手动阀，手动阀的另一接口接一三通，三通的一个接口接一真空表，三通的另一接口接一真空液体粉尘过滤器，在真空液体粉尘过滤器的进气口上接一抽真空软管。真空抽气系统是以带油箱的真空泵为主机，配备手动阀，可以调节流量大小，同时可以开关真空系统。