台面直径φ180mm调整范围调偏心±2mm ;调水平±1°回转直径φ300mm旋转速度0-12转/分Z轴(立柱)直线度(窄范围) 0.5μm/100mm直线度(全范围) 0.8μm/300mm光栅分辨率无
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作品编号:
266807
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