精密定位平台/扫描台高精度微型六维调节架TRIPOD 92-6DoF 92-6自由度三脚架产品拥有以下特点： 1）拥有六个自由度平台是一个并联运动纳米操作系统，不同于常规的堆叠设计，该平台由多个线性平台同时运动驱动。定位器的平行设置优化了整个系统的刚度，并允许控制所有六个自由度（X,Y,Z,俯仰，偏航和旋转） 2）用户可自定义轴心点可自由设置轴心点，可绕空间任意一点旋转3）多选项高&超高真空兼容非磁材料抗紫外线材料4）高分辨率和重复精度无反向空回的机械设计使该系统与线性平台有相同的量级的性能，分辨率可达到1
nm和1μrad，X,Y,Z的双向可重复性可达到200
nm，旋转重复精度可达10μrad，对于小行程重复精度会更高。