硅片传送设备(硅片的自动上下料系统)
硅片传送设备,用于硅片的自动上下料系统,包括自动上料组件和自动下料组件,运动包括纵向进给和横向进给,采用伺服电机齿轮齿条传动机构。结构简单运动可靠。 硅片传送设备.STEP(105.47MB)
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