世伟洛克原子层沉积（ALD）阀三维模型，此阀专用于ALD工艺，针对ALD工艺特性设计，可快速完成阀门开启与关闭（小于5ms），此模型中阀接头类型为1/4VCR接头，包含三通（6LVV-ALD3TA333P-C）二通（6LVV-ALD3TFR4-P-C）ALD阀模型，另附带样本说明书，供方案使用，SolidWorks2018原文件。