探针台晶圆承片台及其旋转顶升系统,具有旋转角度和顶升功能,是全自动探针台的核心部件。兼容8寸与3寸,XYZR四轴可以调节,sw2020版本,另含step通用格式,可供大家参考!
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作品编号:
354478
图纸版本:
Solidworks2020
可否编辑:
可编辑,不包含特征参数
文件大小:
35.4MB
下载积分:
320
文件统计:
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