本装置为某企业高精度三轴测试平台，采用传感器反馈控制，结构紧凑合理。步进电机做为动力源，装置具有XY滑台和两个Z滑台，X滑台上放半导体，两个Z滑台上放置探针。本模型建模精巧，可供大家参考！