上料装置：负责将硅片从原始存储位置或上一工序的输出端准确地抓取并放置到输送机构上。常见的上料装置包括机械臂、吸盘、推料机构等。机械臂具有灵活性高、抓取精度准确的特点，能够根据预设的程序精确地抓取硅片并放置到指定位置；吸盘则通过负压吸附的方式吸取硅片，适用于表面平整、光滑的硅片，且不会对硅片造成损伤；推料机构则通过推动硅片或料盒，使其进入输送机构，结构简单、可靠性高.收料装置：与上料装置相对应，用于将输送机构上的硅片或料盒收集到指定的存储位置或下一工序的输入端。收料装置的类型也较为多样，如料仓、托盘、周转箱等。料仓一般具有较大的存储容量，能够容纳较多数量的硅片或料盒，适用于大规模生产中的批量收料；托盘则可以将硅片整齐地排列放置，便于后续的搬运和加工；周转箱则具有良好的密封性和防护性，能够保护硅片在运输和存储过程中不受外界环境的影响