光电行业废气处理设计图
光电行业产品包括:触控感应组件、LED面板显示屏等,废气主要为VOCs有机废气、H2SO4废气。废气主要来自于清洗、蚀刻、涂覆、干燥等工序。光电行业的蚀刻工序(湿式化学蚀刻)是利用液体化学物质与基质表面的特定材料反应溶出,蚀刻工序产生有机及无机酸共排现象,因此对于光电企业除了常有酸气臭味排放及处理效率,还须同时符合有机物及无机酸排放标准。目前行业内多数采用湿式洗涤搭配酸碱中和设备,对于水溶性佳且解离性高的酸性气体有不错的净化处理效果,但是因为湿式洗涤技术对于低浓度(<3ppmv)的酸性气体处理效果并不佳,尤其部分酸气的嗅味阈值很低(10ppb),使用传统的处理设备,无法达到相关标准的要求,也因此经常发生居民投诉的问题。目前采用湿式洗涤设备处理酸性气体,排气风量约600NCMM,无法从根本上解决因酸气所衍生的臭味问题。光电业VOCs污染处理技术方案本方案主要为解决湿式洗涤设备排气所产生的臭味问题,因此选择处理技术必须要符合能处理低浓度有机及无机酸气,以及耐高湿度的环境技术。
废气处理工艺:主要为PP旋流喷淋塔+活性炭吸附塔处理装置。
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