低温高真空排气系统采用2级泵组机构，五联装分子泵为主抽，机械泵前级。该装置主要用于电子陶瓷管除气、半导体封装焊接、医疗植入体除气。系统抽速快，极限真空度高。 低温高真空排气系统.dwg(100.73KB)