目录 1绪论1 1.1非晶合金发展概述1 1.2 Zr基非晶合金的性能2 1.2.1力学性能2 1.2.2耐腐蚀性能4 1.2.3加工性能4 1.3真空获得设备发展概述4 1.3.1真空技术发展简介4 1.3.2综合评价5 2锆基非晶合金真空熔炼压力熔渗炉真空系统设计6 2.1工作原理及主要技术性能指标6 2.2真空获得系统7 2.2.1真空机组选用原则7 2.2.2真空泵工作压力范围8 2.2.3旋片泵工作原理及其型号确定10 2.2.4罗茨泵工作原理及其型号确定15 2.2.5罗茨泵真空机组抽气速率22 2.2.6分子泵工作原理及其型号确定23 3熔炼室壳体计算28 4熔渗炉的壳体设计与壁厚计算29 4.1壳体壁厚计算29 4.2筒体上部大法兰的设计计算33 5真空室抽气时间计算33 5.1气体沿管道流动状态及流导计算33 5.2抽气时间计算38 5.2.1粗真空、低真空下抽气时间38 5.2.2高真空下抽气时间计算40 6结论42 7致谢43 8参考文献44 从图可见，前级泵的极限真空度愈高时，机组的极限真空度也随之增高；两级罗茨泵串联使用，则能提高机组的极限真空度（实质上就是前一个罗茨泵为后一个罗茨泵的前级泵），且性能曲线平缓扩大，也即使用的范围扩大（由曲线1与2，曲线3与5的比较而得）。机组1、2的曲线大致相同。同样，机组3、4、5的曲线也有相同之处。然而1、2机组曲线和3、4、5机组曲线却是完全不同的两组曲线。这说明对于同一罗茨泵而言，选用不同的前级泵时，其机组的性能曲线有本质的差异。由此可见，前级泵对机组性能有相当大的影响。 <!本网页由山东伯仲真空设备有限公司陈宗武制作，版权所有，翻录必究!> （4）水环泵的选择 所谓水环泵就是用水作为液环的液环泵，用水作液环有很多优点，如价廉、易得、不会污染环境等。但也有一个很大缺点，由于水的饱和蒸汽压高，使得水环泵的吸入压力也高。这时如改用饱和蒸汽压低的液体作为液环，则可提高泵的极限真空度。如果某机组中罗茨泵最大允许的排气压力为10Torr，则用水作液环时还须加大气泵才能作为该罗茨泵的前级泵，若改用矿物油作液环则不加大气泵即可作为前级泵，这样可以简化装置。 （5）机组性能与罗茨泵允许排出压力 机组的性能在很大程度上取决于罗茨泵的允许排出压力。这种允许值越低，水环泵作为前级泵的可能性就越校如果罗茨泵这种允许值为1~10Torr，而不论单、多级的水环泵极限压力大大高于这个数值，因此就不可能单独与这种罗茨泵组合使用，而需要加二级大气泵。如果罗茨泵排出压力允许值在100Torr以上，则前级的水环泵也可以作为罗茨泵的前级泵的前级泵，这就大大地扩充了前级泵的应用范围。 （6）应用实例 某化纤产品的生产过程为：低分子－高分子－制成带状－切片－干燥（运用罗茨泵－水环泵机组进行真空干燥）－抽丝－牵伸、加热－纺织－成品。 其中一个重要的工序是将5×5×5(mm)大小的切片进行干燥，以便进行抽丝，抽丝过程中理想的状况是使水份含量为零，实际上由于不能达到这一目的，故要求水份含量不大于0.02如果水份超过这一要求，要高温高压下抽丝，会使高分子分解，影响产品的强度。