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晶圆测试系统送进装置设计【三维图】（全套设计及CAD图纸） 本文主要介绍晶圆测试的发展状况，晶圆测试送进装置结构设计原理，晶圆测试送进装置总体方案分析及确定，晶圆测试送进装置结构设计内容所包含的机械图纸的绘制，送进装置的计算，送进装置的结构设计结论与建议。 整机结构主要由电动机产生动力通过联轴器将需要的动力传递到带轮上，带轮带动导轨滑靴，从而带动整机装置运动送进装置可以代替人手的繁重劳动，显著减轻工人的劳动强度，改善劳动条件，提高劳动生产率和生产自动化水平。工业生产中经常出现的笨重工件的搬运和长期、频繁、单调的操作，采用送进装置是有效的；此外，它能在高温、低温、深水、宇宙、放射性和其它有毒、污染环境条件下进行操作，更显示其优越性，有着广阔的发展前途。 本研究内容： (1)晶圆测试送进装置总体结构设计。 (2)晶圆测试送进装置工作性能分析。 (3)电动机的选择。 (4)晶圆测试送进装置的传动系统、执行部件及机架设计。 (5)对设计零件进行设计计算分析和校核。 (6)运用计算机辅助设计，对设计的零件进行三维建模。 (7)绘制整机装配图及重要部件装配图和设计零件的零件图。 关键词：晶圆测试送进装置，结构设计，三维建模；步进电机 1绪论1 1.1送进装置的特点1 1.2送进装置的组成2 1.2.1执行机构2 1.2.2驱动机构2 1.2.3控制机构2 1.3本文研究主要内容3 2晶圆测试送进装置机构总体方案设计4 2.1送进装置的基本技术参数确定4 2.1.1规格参数4 2.1.2有效负载4 2.1.3运动特性4 2.1.4工作范围（工作半径） 5 2.2送进装置材料的选择5 2.3机械的运动方式5 2.4送进装置的驱动元件6 2.5机构整体设计7 3晶圆测试系统送进装置的机械计算8 3.1电机的选取8 3.2同步带的概述及计算10 3.2.1同步带介绍10 3.2.2同步带的特点11 3.2.3同步带传动的主要失效形式12 3.2.4同步带传动的设计准则14 3.2.5同步带分类14 3.2.6同步带计算选型15 3.2.7同步带的主要参数（结构部分） 18 3.2.8同步带的设计20 3.2.9同步带轮的设计20 3.3轴的设计21 3.4轴的校核21 3.5键的校核22 3.6轴承的校核23 3.7直线滚动导轨副的计算、选择24 3.8横梁的强度与刚度的计算26 总结31 致谢32 参考文献33