机械5

摘要 本章首先简要的介绍了在半导体线上的环氧树脂的重要作用，环氧树脂的性质等。主要设计了在半导体生产线中，对环氧树脂用量的检测装置。本文所设计的检测装置为一种新型的靶式流量计，该种流量计除能替代常规流量所能测量的流量计量问题，尤其在小流量、高粘度、易凝易堵、高温、低温、强腐蚀、强震动等流量计量困难的工况中具有很好的适应性。本文详细的阐述了所设计的靶式流量计的测量原理，并对其结构进行了设计，最后说明所设计的该种流量计的性能参数及安装使用注意事项。 目录 第一章绪论1 1.1研究背景及意义1 1.2 Epoxy的类型及其性质分析2 1.3本文研究的主要内容3 1.4本章小节3 第二章Epoxy检测装置简述4 2.1引言4 2.2流量检测技术发展现状4 2.3本章小结6 第三章检测装置的结构设计7 3.1检测装置的设计理念7 3.2检测装置的工作原理8 3.2.1质量流量的计算8 3.2.2体积流量计算9 3.3检测装置的结构设计10 3.3.1结构设计方案10 3.3.2检测装置结构工作原理10 3.3.3测量管结构设计及参数系列10 3.5本章小结12 第四章检测装置积算显示设计13 4.1检测装置积算部分13 4.2检测装置显示部分13 4.3显示程序设计15 第五章检测装置的性能24 4.1检测装置的特性24 4.2检测装置使用注意事项24 4.3检测装置使用特点是适用范围25 4.4流量检测计的特点25 第五章结论与展望27 5.1结论27 5.2本次设计存在的不足27 5.3展望27 致谢28 参考文献29