1.采用双摄像头上置，XYZ调节范围正负10mm 2.适用12寸晶圆片检测，可修改平台真空槽位兼容8寸 3.CCD为单筒0.5~4倍可调，可配置高清LCD显示器21.5寸，及双通道分频器HDMI接口，保证显示清晰。 4.根据工艺要求配真空阀装置满足晶圆吸附祝 5.根据晶圆尺寸不同可相关修改即可，平台等铝件表面发黑处理，平面精度20um以下。