精密高速伺服电机驱动，转速达8000rpm，转速精准。大旋转加速度可达40000rpm/s（有负载的真实加速度）。全自动程序控制。超强耐腐蚀，304不锈钢机身，腔体采用NPP材料，旋转台采用PEEK材料。安全保护功能，真空吸片检测，腔体关闭检测。主要用于微电子、半导体、制版、新能源、生物材料、光学器件等领域的表面涂膜工艺，例如各类纳米薄膜材料、光阻涂覆、生物功能涂层的制备