机械5

四路质子混气供气系统可将多种气体安一定比例均匀混合后通入到管式炉中。各种气体的流量是通过精密的质量流量计来控制，流量计和混气罐都安装在一个移动柜内，而且移动柜顶部可以放置管式炉。此系列设备可用于搭建CVD系统，也可为样品退火提供所需的气氛环境。