真空腔体采用不锈钢304材质，厚度12mm，外圈设计了流道水路，腔体大小570宽*700高*500深，内设计四层料盘，每层尽高150，每层采用铝加热板加热，背部设计了一个安装口，带有8个CF35的电极接入口。