三维建模软件：SolidWorks 硅片盒 硅片盒.SLDASM(498KB)，硅片盒-底板01.SLDDRW(1.19MB)，硅片盒-底板02.SLDDRW(2.8MB)，硅片盒-托盘03.SLDDRW(1.1MB)，硅片盒-履带04.SLDPRT(331KB)，硅片盒-底板01.SLDPRT(556.5KB)，硅片盒-底板02.SLDPRT(698KB)，硅片盒-托盘03.SLDPRT(397.5KB)