机械5

扩散泵是一种次级泵，它需要机械泵作为前级泵。扩散泵中的油在真空中加热到沸腾温度（约为200度）产生大量的油蒸气，油蒸气经导流管由各级喷嘴定向高速喷出。由于扩散泵进气口附近被抽气体的分压强高于蒸气流中该气体的分压强。 本模型使用SolidWorks软件绘制，欢迎大家下载使用。