本模型为高真空用气控阀，气控阀由开关阀和压力控制器控制，气控阀切换的原理是通过在线阻力器和外加补气气流实现系统各部分不同的流量平衡。 本模型使用solidworks软件绘制和装配，欢迎大家下载参考研究使用。