本装置为晶片(晶圆)上料装置,主要由旋转送料组件及升降暂存组件组成,升降暂存组件由伺服电机+丝杠升降实现暂存架的升降;旋转送料组件由旋转气缸实现旋转,送料采用伺服电机+带传动实现,可更换不同规格的暂存架以适应不同尺寸的晶片(晶圆),也可通用于圆形/矩形产品的上料,本模型建模精巧,可供大家参考!
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作品编号:
353740
图纸版本:
Solidworks2021
可否编辑:
可编辑,包含特征参数
文件大小:
43.84MB
下载积分:
480
文件统计:
三维模型文件152个
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