探针台晶圆承片台及其旋转顶升系统，具有旋转角度和顶升功能，是全自动探针台的核心部件。 丝杠直线角度转换机构-000T.SLDASM(1.07MB)，旋转顶升系统-000T.SLDASM(2.92MB)，晶圆承片台XY系统-000T.SLDASM(2.14MB)，晶圆承片台及其旋转顶升系统-000T.SLDASM(4.94MB)，承片台旋转顶升系统-000T.SLDASM(3.68MB)，旋转组件.SLDASM(1.27MB)，阀组件.SLDASM(205.32KB)，Z轴组件.SLDASM(3.09MB)，后旋转座.SLDPRT(128.54KB)，前旋转下座.SLDPRT(121.67KB)