该机构是半导体封装设备的标准机构，wafer table模组含有由直线电机驱动的XY模块，以及由电机驱动的Z轴以及旋转机构，适用于生产12英寸晶圆。内含stp图档，欢迎下载使用！ bf-asmb-29.asm.1(70.55KB)，htpa18s3m100-k-p4.asm.1(39.88KB)，b-asm0003-3.asm.1(59.93KB)，b-asm0003-4.asm.1(50.69KB)，b-asm0003.asm.1(133.23KB)，htpa36s3m100-a-p6.asm.1(35.25KB)，bf-asmb-30.asm.1(76.91KB)，bf-asm-dkw-x.asm.1(54.3KB)，bf-asm-dkw-y.asm.1(52.48KB)，b-asm0003-2.asm.1(71.61KB)