压电陶瓷气动的三维纳米定位台,内部使用柔性铰链结构,采用有限仿真分析优化柔性铰链结构,柔性导向系统具有高刚性,高负载,无磨损,免维护等特点,压电平台内置精密位移传感器进行闭环反馈。文件版本为sw17,含参数可编辑,欢迎下载交流!
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作品编号:
386258
图纸版本:
Solidworks2018
可否编辑:
可编辑,包含特征参数
文件大小:
11.91MB
下载积分:
1000
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