图纸为硅烷水洗室，室体外形尺寸9000*2650*4000，硅烷槽中喷淋泵为150YW250-22-30(不锈钢，液下长度900mm），排污泵50WQ-11091(铸铁)，水洗槽中液下泵为150YW250-22-30(不锈钢，液下长度900mm），排风风机为BT35-11No4(玻璃钢，电机外置)