二路转子混气装置气路图
二路转子混气装置用于电子陶瓷、CVD、等工艺设备的前端供气装置,可将2种不同气体进行不同比例的混合,经转子流量计调节进气流量,通过混气罐混合,尔后经混气阀、输出管道进入工艺设备。可调节流量大小,气体比例。
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