本文中,对三坐标测量仪的研究现状和精密测量的关键技术做了总结,对所设计的测量仪的总体布局、床身的选材、导轨的设计、进给方式的选择做了介绍,选用燕尾型气体静压导轨,同步齿形带和钢带传动,摩擦杆进行驱动。对移动桥和熘板进行了简单的ANSYS分析,计算了移动桥受力时最大的变形量和直线度;选用伺服电机作为动力源,并对其进行了简单的功率计算,分析了测量仪的工作环境对其精度的影响和它的应用环境;定位采用开式光栅尺,对光栅尺的选型做了比较。最后针对测量仪整机进行精度分析,查找误差源和精度的综合分析。
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