1,该传输段采用磁力轮提供动力，从驱动源电机到传送轴旋转均采用磁力轮结构，真正做到无污染传送架， 2，轮子采用防静电材料成型，理论上对晶圆或同尺寸方片无静电伤害； 3，两段布局，该架可暂停2PCS产品 4，主要配件型号设计图中有，可直接用于设备设计模块使用，针对产品的重量要求可分析扭矩做相应变更。