此图为晶圆寻边器三维模型图纸,功能:可将晶圆置于其上,自动识别晶圆的平边/Flat/Notch,并旋转到特定的角度,使晶圆能够处于期望的角度上,多用于EFEM搬运系统,solidworks格式文件,同时包含XT格式
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作品编号:
394539
图纸版本:
Solidworks2021
可否编辑:
可编辑,不包含特征参数
文件大小:
18.02MB
下载积分:
300
文件统计:
三维模型文件4个
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