晶圆寻边器型号：alig
ner_hpa48_asm功能：可将晶圆置于其上，自动识别晶圆的平边，并旋转到特定的角度，使晶圆能够处于期望的角度上 晶圆寻边器-aligner==1165013=100.stp(5.58MB)