晶体是一种非常重要的非线形光学材料,目前在激光的领域中广泛使用,加工晶体的第一步骤是切片。此道工序多使用环状金刚石锯进行切割,但是环状金刚石锯切割有着很多的问题:如果间隙过大浪费严重;磨损不均衡锯条在切割过程中容易出现波纹状;在切割过程中带锯易发生跑偏情况,从而产生附加作用力,使晶体破解变形、炸裂等。线切割为柔性锯丝,无额外的附加作用力,切削过程中应力孝温度低,表面损伤层是较浅,特别适合用于薄切片过程中更小的,它已被广泛应用于单晶硅,硬而脆的晶体片中。
本文所设计的线切割,可以用来解决环状金刚石锯在切割晶体过程中存在的一些问题,线切割的主要设计内容包括:
1、根据要求对晶体进行切片,第一,对线切割进行了工艺分析,从而明确了切削用量和加工方法;第二,对线切割的运动进行了分析与分配,明确了线切割的布局形式;第三,选择了线切割的传动形式,确保了各执行件的运动得以实现;最后选择了线切割承载结构形式,保证线切割抵抗变形的能力满足要求。
2、根据线切割确定的方案,采用模块化设计思想进行应用,对线切割从功能分析的角度进行模块划分;设计了线切割的传动机构,主要包括:滚筒轴支撑部分,其中包含固定侧支撑单元的计算设计;滚珠丝杠的计算设计、导轨的计算设计、滚珠丝杠外部设备的计算,设计计算了伺服电机,其中包含:伺服电机的计算选择和伺服电机与丝杠轴连接部分构造的计算设计。
3、设计计算了线切割承载模块,其中包含底座及机架的计算设计。
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