本次设计晶圆传送机械手采用R-θ型机器人结构形式，有3个自由度，分别为晶圆传送机械手手臂沿Z轴的上下运动，晶圆传送机械手手臂绕Z轴的旋转运动，晶圆传送机械手手臂径向直线伸缩平动。在功能上能够完成自动取片、进片、退片、预对准等动作，满足自动测试的一切要求.(1)设计半导体小圆片全自动传输机械手系统的总体方案。通过比较国外同类产品的机械系统设计和控制器技术，并分析其不足之处，提出了总体方案。 (2)根据设计参数对主要零部件进行选型设计。 (3)完成设计任务，出相应的工程图，三维图。