该机构是半导体封装设备的标准机构，常见于固晶设备和分选设备，wafer table模组含有由高精度直线电机驱动XY模块，以及由步进电机驱动的Z轴以及旋转机构，适用于生产12英寸晶圆。内含stp图档，欢迎下载使用！