半导体300mm 12英寸前开式晶圆传送盒FOUP(Fro
nt Ope
ni
ng U
nified Pod)。这是半导体制程中被使用来保护、运送、并储存晶圆的一种容器,其内部可以容纳25片的300mm晶圆,而其主要的组成元件为一个能容纳25片晶圆的前开式容器并有一个前开式的门框专司容器的开闭,是一种专属于12吋(300mm)晶圆厂内的自动化传送系统重要的传载容器 注:模型仅为外观示意图,会和实物有所差异,实际尺寸请以FOUP实物或者厂家的图纸尺寸为准,请悉知!
展开...
nt Ope
ni
ng U
nified Pod)。这是半导体制程中被使用来保护、运送、并储存晶圆的一种容器,其内部可以容纳25片的300mm晶圆,而其主要的组成元件为一个能容纳25片晶圆的前开式容器并有一个前开式的门框专司容器的开闭,是一种专属于12吋(300mm)晶圆厂内的自动化传送系统重要的传载容器 注:模型仅为外观示意图,会和实物有所差异,实际尺寸请以FOUP实物或者厂家的图纸尺寸为准,请悉知!
作品编号:403185
图纸版本:通用文件格式
文件大小:1.38MB
下载积分:500
文件统计:三维模型文件1个
文件列表
正在加载...请等待或刷新页面...