目录 摘要3 前言4 第一章总体方案设计与论证5 第二章机械本体设计6 第三章电路设计10 总结20 致谢23 参考文献24 摘要 本文首先简要介绍PSD的特性和检测位移的方法，在此基础上基于PSD的三维位移测量系统设计。在本设计中，是以PSD作为位移传感器的主要部件，采用半导体激光二级管激光测在PSD板感光位移的方法。用放大器、AD转换器进行X、Y方向的信号采集。另外，还添加了STM32F103—32位基于ARM核心的带128K字节闪存的微控制器，就信号进行分析,再通过RS-485接口输出。通过对电路的设计，减少了测量电路及安装PSD板是造成的机械误差，使精度可达到PSD板的精度。本文采用ADS A/D转换器，STM32F103微控制器，RS485接口，LM1117电压调节器，78L051三端稳压电源调整器,组成系统。该系统的特点是：使用方便、测量方便、稳定可靠、适用对象广。