晶圆硅片搬运手臂，双手臂结构带升降结构。双臂采用无尘同步带同步驱动完成同步伸缩旋转升降移动功能。所有标准件有明确标注。 D20203-C16-(拖链架).DWG(158.51KB)，皮带.DWG(145.42KB)，D20203-C02-(边板右).DWG(169.02KB)，D20203-C01-(边板左).DWG(171.42KB)，D20203-C18-(防尘圈).DWG(161.93KB)，D20203-C06-(电机座).DWG(200.89KB)，D20203-C14-(原点架).DWG(144.24KB)，D20203-C17-(原点片).DWG(134.58KB)，D20203-C15-(固线板).DWG(156.87KB)，D20203-C08-(升降台).DWG(216.58KB)