静电吸盘，又称静电卡盘（ESC, E—Chuck），是一种利用静电吸附原理加持固定被吸附物的夹具。它适用于真空和等离子体环境，主要作用是用于吸附超洁净薄片（如硅片），并使吸附物保持较好的平坦度，可以抑制吸附物在工艺中的变形，还能够调节吸附物的温度。静电吸盘已经成为半导体制造工艺中应用最广泛的晶圆夹持工具，是刻蚀、薄膜沉积、离子注入等设备的核心部件。